选择区域/语言
首页
工业VOCs治理
行业概述
INDUSTRY OVERVIEW
半导体VOCs治理
半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。挥发性有机废气主要来源于光刻、显影、刻蚀及扩散等工序，在这些工序中要用有机溶液（如异丙醇对晶片表面进行清洗，其挥发产生的废气是有机废气的来源之一；同时，在光刻、刻蚀等过程中使用的光阻剂（光刻胶）中含有易挥发的有机溶剂，如醋酸丁酯等在晶片处理过程中也要挥发到大气中，是有机废气产生的又一来源。半导体制造工艺中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分。在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。
废气来源
SOURCES OF EXHAUST GASES
溶剂萃取
吸附
生物
膜分离
氧化
焚化
废气成分
EXHAUST GAS COMPOSITION
氨气
二氧化硫
氮氧化物
氯气
氟化物
有机挥发物
硝酸盐
硫酸盐
非甲烷总烃
硫酸雾
氟化物
丙酮
甲醇
二甲苯
异丙醇
主要来源于芯片或者是线路板生产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中。
排放标准
EMISSION STANDARDS
|
序号
|
控制项目
|
排气筒高度(m)
|
征求意见稿允许排放速率 (kg/h)
|
93版排放量放速率 (kg/h)
|
检查位置
|
|
1
|
氨
|
15
|
0.6
|
4.9
|
车间或生产设施排气筒
|
|
2
|
三甲胺
|
15
|
0.15
|
0.54
|
|
|
3
|
硫化氢
|
15
|
0.06
|
0.33
|
|
|
4
|
甲硫醇
|
15
|
0.006
|
0.04
|
|
|
5
|
甲硫醚
|
15
|
0.06
|
0.33
|
|
|
6
|
二甲二硫
|
15
|
0.15
|
0.43
|
|
|
7
|
二硫化碳
|
15
|
1.5
|
1.5
|
|
|
8
|
苯乙烯
|
15
|
3.0
|
6.5
|
|
|
9
|
臭气浓度
|
排气筒高度（m）≥15
|
标准值 （无量纲）1000
|
标准值 （无量纲）2000
|
处理难题
TREATMENT CHALLENGES
高温废气处理
半导体制造过程中产生的废气通常包含高温气体和有害气体，如氨气、氟化物等。处理这些高温废气需要采用高效的热能回收和处理技术，以确保不会对环境和人体造成危害。
精细颗粒物处理
半导体制造过程中产生的废气中可能含有微小颗粒物，如粉尘、金属颗粒等，这些颗粒物对环境和人体健康构成潜在风险。因此，如何有效地捕捉和处理这些微小颗粒物是一个难点。
难降解有机物处理
半导体制造过程中使用的化学物质中可能含有难降解的有机物，如有机溶剂、挥发性有机化合物（VOCs）等。处理这些难降解有机物需要采用高效的氧化、吸附或者其他处理技术，以确保废气排放符合环保标准。
废气处理系统的成本和能耗
建设和运行高效的废气处理系统需要大量的投资和能源消耗，如何在保证废气处理效果的前提下降低处理成本和能耗是一个难点。
工艺流程
PROCESS FLOW
羿清优势
ECLEAR ADVANTAGES
实力保障
国家高新技术企业中英合资团队20余项废气治理技术
品质保证
200+项目案例稳定运行无后顾之优
售后服务
拥有售后团队免费提供24小时在线服务
技术团队
团队成员拥有十余年废气治理工作经验,其中3名注册暖通工程师名注册给排水工程师，2名建造师
源头厂家
设备工程性价比高为您更好的控制成本
环保达标
全过程管理服务让您轻松应对环保局验收满足新版废气 排放标准
羿清环保关联设备
RELATED EQUIPMENT
沸石转轮+CO
沸石转轮装置+催化燃烧CO主要适用于处理高浓度CO废气。通常，CO浓度在500 ppm（体积分数）或更高时，才需要采用沸石转轮装置+催化燃烧CO进行处理。如果CO浓度较低，则可能使用其他废气处理技术更加适合。
沸石转轮装置是一种用于分离气体混合物中成分的技术。这种装置通常包含许多沸石分子筛轮，沸石分子筛轮可以选择性地吸附某些分子而不吸附其他分子，从而实现气体混合物中的成分分离。催化燃烧CO是一种将CO（一种有毒有害气体）转化为CO2（一种相对无害的气体）的技术。这种技术使用催化剂来加速CO与氧气反应，从而减少CO的浓度。
沸石转轮+TO
沸石转轮+TO直燃炉是一种高效、环保的工业废气处理设备。其通过物理吸附和高温焚烧两种方式，能够实现对工业废气中各种有机污染物的有效处理。该设备具有高效节能、适用范围广、易于维护等优势，在未来的工业废气处理领域具有广阔的应用前景。
沸石转轮+RCO
沸石转轮+RCO催化燃烧设备是目前国内有机废气处理领域应用较成熟、实用的工艺。采用吸附－脱附－冷却三项连续程序，边吸附边脱附。沸石转轮先对有机废气吸附收集、压缩、提高浓度，然后再把高浓度的废气分子从沸石转轮中脱附出来，送入催化氧化炉（CO炉）中进行无焰燃烧。达到对有机废气净化的目的。沸石转轮+RCO设备主要由废气预处理系统、沸石转轮吸附浓缩系统、脱附系统、催化燃烧系统、冷却干燥系统和自动控制系统等组成。
沸石转轮+RTO
沸石转轮+RTO工艺是现在废气治理行业火热的工艺之一，相比于其他的新材料，新能源、化工、半导体等行业直接RTO焚烧，沸石转轮RTO工艺的达标性能和安全性能非常的有保障。
沸石转轮RTO的工作原理是利用高温下的燃烧反应将废气中的有机物氧化为无害的二氧化碳和水，从而达到净化废气的目的。其核心是一个旋转的热交换器，内部填充有沸石等吸附材料。
喷淋塔
喷淋塔作为环保废气处理的一种处理设备而存在，根据工作原理分为循环水喷淋塔，碱液喷淋塔，酸液喷淋塔（别名：酸洗塔）。根据塔体材质分为玻璃钢喷淋塔、pp喷淋塔、不锈钢喷淋塔。根据废气性质不一样选择合理的喷淋材质和喷淋工艺。喷淋塔是一种重要的工业废气处理设备，其工作原理是利用水和动力技术将液体或气体以雾状的形式喷洒到废气中，以此来去除废气中的有害物质。
洗涤塔
洗涤塔是一种成熟的废气处理设备， 广泛应用于工业废气处理、除尘 等方面的前处理。 气体进入塔内，与塔内洗涤液 充分接触、吸附、溶解，达到净化效果。羿清洗涤塔设计形式多样，根据项目应用场地可 采用立式或卧式结构。 常用洗涤塔设备材质有PP、FRP及不锈钢， PP及FRP常用于化学吸收塔， 具有耐酸耐碱耐腐蚀的特点， 不锈钢材质可用于高温的废气。
生物滤池
生物滤池是通过有效的除臭菌种和合理的设备结构，使大分子或结构复杂的有机物经异化作用后氧化分解为简单的水、二氧化碳等无机物。
羿清环保生物滤池，相比同行的设备进行了改良，采用预处理、生物处理深度吸附一体化处理工艺，保证了生物处理阶段的进气稳定性，同时未端配置深度处理，在废气排放超过设计排放浓度时，可以保证废气达标排放。
耦合催化一体机
设备采用不锈钢固定撬装式全密封结构，安装便利，内部涂敷不锈钢专用防腐材料，可耐酸碱废气环境，设备使用寿命长，由预处理段、耦合反应装置、阵列抽屉式模块组成。贵金属耦合催化网激发产生的高能粒子场，通过紫外波段照射到自主制备贵金属和二氧化钛纳米颗粒的耦合协通效应，将VOCs有机废气裂解为二氧化碳、水等，未能完全降解的其他废气分子可被氧化为水溶性小分子及部分活性自由基等。
活性炭吸附箱
活性炭吸附箱是一种废气过滤，吸附臭味的环保机械商品，此设备是洁净较浓度较高的有机化学废气和喷涂废气的吸附可利用率活性炭高强度吸附水平，当废气由离心风机增加动力，负压力进到吸附箱再进入活性炭吸附层，对于有机溶液的废气有非常好的吸附功效。
耦合催化废气处理设备
设备采用不锈钢固定撬装式全密封结构，安装便利，内部涂敷不锈钢专用防腐材料，可耐酸碱废气环境，设备使用寿命长，由预处理段、耦合反应装置、阵列抽屉式模块组成。贵金属耦合催化网激发产生的高能粒子场，通过紫外波段照射到自主制备贵金属和二氧化钛纳米颗粒的耦合协通效应，将VOCs有机废气裂解为二氧化碳、水等，未能完全降解的其他废气分子可被氧化为水溶性小分子及部分活性自由基等。
RCO蓄热式催化燃烧
蓄热式催化燃烧（RCO）是一种利用催化剂使有机废气分解成无害的二氧化碳和水等小分子的方法。由于在反应中需要消耗热量，因此称为蓄热式催化燃烧法。
RCO装置主要由净化室、预热室和高温气体出口三部分组成，其中预热室的温度一般在300~600°C之间；净化室内设有填料层，用以吸附有机废气中的污染物；高温气体出口与大气相通，以回收热量。
RTO蓄热式氧化炉
蓄热式热力焚化炉英文名为“Regenerative Thermal Oxidizer”，故简称为“RTO”。其原理是把有机废气加热到800摄氏度以上，使废气中的VOC氧化分解成二氧化碳和水。氧化产生的高温气体流经特制的陶瓷蓄热体，使陶瓷体升温而“蓄热”，此“蓄热”用于预热后续进入的有机废气，从而节省废气升温的燃料消耗。陶瓷蓄热体应分成三个区域室，每个蓄热室依次经历蓄热-放热-清扫等程序，周而复始，连续工作。蓄热室“放热”后应立即引入部分已处理合格的洁净排气对该蓄热室进行清扫(以保证VOC去除率在95%以上)，只有待清扫完成后才能进入“蓄热”程序。
蓄热式热力氧化处理系统在燃烧器的作用下预热至700℃后，废气旁通阀门关闭，废气正通阀门打开，废气风机启动运行，废气先经蓄热室预热到700℃左右，然后进入氧化室充分氧化分解，烟气温度达到800℃左右，废气中的有机成分完全氧化分解，产生的烟气进入另一组蓄热室，在蓄热室进行换热，通过引风机排放到大气。本热氧化装置共设三个蓄热室，三个蓄热室呈一字形布置，可自动定期轮流切换蓄热室的工作状态。
CO催化燃烧
催化燃烧是用催化剂使废气中可燃物质在较低温度下氧化分解的净化方法。所以，催化燃烧又称为催化化学转化。由于催化剂加速了氧化分解的历程，大多数碳氢化合物在300~450℃的温度时，通过催化剂就可以氧化完全。
与热力燃烧法相比，催化燃烧所需的辅助燃料少，能量消耗低，设备设施的体积小。但是，由于使用的催化剂的中毒、催化床层的更换和清洁费用高等问题，影响了这种方法在工业生产过程中的推广和应用。
TO直燃式氧化炉
直燃式焚烧炉是通过高温氧化原理对VOCs进行处理，常规炉型的内部为空腔结构，可以根据客户需求在炉体外搭配各类热回收装置，如换热器、锅炉等。直燃式焚烧炉能够广泛用于高浓度、含颗粒物等复杂工况的废气，并有效回收氧化过程中所释放的热能。直燃式焚烧炉外形多样化，可以根据现场空间特点进行设计，如方形腔体、圆柱形腔体，还可以做成立式炉、卧式炉、L形炉等。
